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压电驱动三自由度柔顺精密定位平台研究 期刊论文
振动、测试与诊断, 2019, 卷号: 39, 页码: 176-183
作者:  张泉[1];  东益冲[2];  任广[3];  孙翊[4];  彭艳[5]
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2019/04/22


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