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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：华南理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 激光剥离GaN表面的抛光技术 期刊论文 《半导体技术》, 2014, 卷号: 39, 页码: 758-762 作者:  应磊莹[1];  刘文杰[2];  张江勇[1];  胡晓龙[2,3];  张保平[1,2] 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/04/25 激光剥离(LLO)  GAN 化学机械抛光(CMP)  垂直结构发光二极管(VSLED)  谐振腔发光二极管(RCLED)  垂直腔面发射激光器(VCSEL)