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科研机构
上海微系统与信息技... [13]
内容类型
期刊论文 [13]
发表日期
2004 [2]
2003 [3]
2002 [2]
2001 [1]
2000 [4]
1999 [1]
更多...
学科主题
Applied [6]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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95
100
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Simulation and characterization on properties of AlN films for SOI application
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2004, 卷号: 459, 期号: 1-2, 页码: 41-47
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
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提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
DEPOSITION
MOSFETS
SILICON
GROWTH
Spectroscopic ellipsometry chraracterization of the interfacial roughness in simox wafers
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2004, 卷号: 459, 期号: 1-2, 页码: 63-66
Li,WJ
;
Song,ZR
;
Tao,K
;
Cheng,XH
;
Yang,WW
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Zou,SC
;
Shen,DS
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提交时间:2012/03/24
ATOMIC-FORCE MICROSCOPY
SURFACES
Determination of sp(3)/sp(2) ratio in amorphous-carbon thin film synthesized by reactive filtered arc deposition
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2003, 卷号: 206, 期号: 0, 页码: 339-342
Li,WJ
;
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Zou,SC
;
Shen,DS
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
COMPRESSIVE-STRESS
SPECTROSCOPY
sp(3)/sp(2) ratio in amorphous-carbon thin film by spectroscopic ellipsometry
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2003, 卷号: 94, 期号: 1, 页码: 284-287
Li,WJ
;
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Wang,X
;
Zou,SC
;
Shen,DS
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
COMPRESSIVE-STRESS
Dielectric properties of AlN thin films formed by ion beam enhanced deposition
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2003, 卷号: 57, 期号: 30, 页码: 4643-4647
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Shen,DS
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
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提交时间:2012/03/24
SILICON
GROWTH
A FED prototype using patterned DLC thin films as the cathode
期刊论文
INTERNATIONAL JOURNAL OF MODERN PHYSICS B, 2002, 卷号: 16, 期号: 6-7, 页码: 993-997
Li,W
;
Feng,T
;
Mao,DS
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
;
Zhu,YK
;
Li,Q
;
Xu,JF
;
Jin,S
;
Zheng,JS
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
ELECTRON FIELD-EMISSION
Tetrahedral amorphous-carbon thin films for silicon-on-insulator application
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2002, 卷号: 80, 期号: 5, 页码: 743-745
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Li,CL
;
Zou,SC
;
Zhang,FM
;
Wang,X
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2012/03/24
DIAMOND-LIKE CARBON
COMPRESSIVE-STRESS
ION
ENERGY
ZnO : Zn phosphor thin films prepared by filtered arc deposition
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2001, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 1004-1007
Li,W
;
Mao,DS
;
Zhang,FM
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
;
Zhu,YK
;
Li,Q
;
Xu,JF
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EMISSION
LUMINESCENCE
OXIDE
Intense UV-visible photoluminescence from Si+ and N+ co-implanted thermal SiO2 films
期刊论文
2000 INTERNATIONAL CONFERENCE ON ION IMPLANTATION TECHNOLOGY, PROCEEDINGS, 2000, 期号: 0, 页码: 765-768
Yu,YH
;
Li,L
;
Lei,YM
;
Zhao,J
;
Mao,DS
;
Zou,SC
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Wilson,IH
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
LAYERS
Characteristics of ZnO : Zn phosphor thin films by post-deposition annealing
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 期号: 0, 页码: 59-63
Li,W
;
Mao,DS
;
Zhang,F
;
Wang,X
;
Liu,XH
;
Zou,SC
;
Zhu,YK
;
Li,Q
;
Xu,JF
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提交时间:2012/03/24
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