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科研机构
上海微系统与信息技... [13]
内容类型
期刊论文 [13]
发表日期
2012 [4]
2011 [1]
2007 [3]
2002 [2]
2001 [3]
学科主题
Chemistry;... [2]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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85
90
95
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Characterization of Hafnium-Zirconium-Oxide-Nitride films grown by ion beam assisted deposition
期刊论文
VACUUM, 2012, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 1078-1082
Jin, CG
;
Yu, T
;
Bo, Y
;
Zhao, Y
;
Zhang, HY
;
Dong, YJ
;
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Ge, SB
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/04/17
High-k dielectrics
HfO2
ZrO2
Structure
Optical properties
The structure and electrical properties of HfTaON high-k films prepared by DIBSD
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 7, 页码: 2953-2958
Yu, T
;
Jin, CG
;
Yang, XM
;
Dong, YJ
;
Zhang, HY
;
Zhuge, LJ
;
Wu, XM
;
Wu, ZF
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/04/17
HfTaON
XPS
TEM
FTIR
Crystallization temperature
Electrical characteristic
Characterization of Hafnium-Zirconium-Oxide-Nitride films grown by ion beam assisted deposition
期刊论文
VACUUM, 2012, 卷号: 86, 期号: 8, 页码: 1078-1082
Jin, CG
;
Yu, T
;
Bo, Y
;
Zhao, Y
;
Zhang, HY
;
Dong, YJ
;
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Ge, SB
收藏
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2013/05/10
Materials Science
Physics
Multidisciplinary
Applied
The structure and electrical properties of HfTaON high-k films prepared by DIBSD
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 7, 页码: 2953-2958
Yu, T
;
Jin, CG
;
Yang, XM
;
Dong, YJ
;
Zhang, HY
;
Zhuge, LJ
;
Wu, XM
;
Wu, ZF
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/05/10
Chemistry
Materials Science
Physics
Physics
Physical
Coatings & Films
Applied
Condensed Matter
A comprehensive study of various etch processes for the removal of suicide-block-film in submicron CMOS technologies
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 11, 页码: 3270-3274
Li, R
;
Wang, J
;
Sun, ZH
;
Dong, YQ
;
Kong, WR
;
Yu, LJ
;
He, J
;
(程新红)
;
Wang, CD
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/04/10
ELSEVIER SCIENCE BV
The transmission properties of pairing structure of negative permittivity and negative permeability materials
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2007, 卷号: 56, 期号: 8, 页码: 4657-4660
Dong, LJ
;
Jiang, HT
;
Yang, CQ
;
Shi, YL
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
DIMENSIONAL PHOTONIC CRYSTALS
Effect of STI-induced mechanical stress on leakage current in deep submicron CMOS devices
期刊论文
CHINESE PHYSICS, 2007, 卷号: 16, 期号: 10, 页码: 3104-3107
Li, R
;
Yu, LJ
;
Dong, YM
;
Wang, CD
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2012/03/24
A comprehensive study of reducing the STI mechanical stress effect on channel-width-dependent I-dsat
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2007, 卷号: 22, 期号: 12, 页码: 1292-1297
Li, R
;
Yu, LJ
;
Xin, HW
;
Dong, YM
;
Tao, K
;
Wang, CD
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
DIFFUSION
MOSFETS
Quantum confinement effect in SiO2 films containing Ge microcrystallites
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 2002, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 2259-2261
Tang, NY
;
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Ye, CN
;
Yao, WG
;
Chen, J
;
Dong, YM
;
Yu, YH
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/03/24
OPTICAL NONLINEARITY
EXCITONS
Strong green electroluminescence from silicon based oxide films
期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2002, 卷号: 154, 期号: 1, 页码: 82-87
Wu, XM
;
Zhuge, LJ
;
Tang, NY
;
Ye, CN
;
Ning, ZY
;
Yao, WG
;
Dong, YM
;
Yu, YH
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
AU POROUS-SI
VISIBLE ELECTROLUMINESCENCE
P-SI
CRYSTALLINE SILICON
PHOTOLUMINESCENCE
BLUE
LUMINESCENCE
GLASS
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