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脉冲偏压对(Ti;Al)N_TiN_(Ti;Al)N多层复合涂层成分和硬度的影响 期刊论文
稀有金属快报, 2008, 期号: 6, 页码: 12-16
作者:  毛延发;  唐为国;  兰新哲;  周廉;  韩培刚
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