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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of N-2 flow rate on the mechanical properties of SiNx films deposited by microwave electron cyclotron resonance magnetron sputtering 期刊论文 THIN SOLID FILMS, 2010, 卷号: 518, 页码: 2077-2081 作者:  Ding, Wanyu;  Xu, Jun;  Lu, Wenqi;  Deng, Xinlu;  Dong, Chuang 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/24 Silicon nitride  Plasma processing and deposition  Fourier-transform infrared spectroscopy  Mechanical properties   Deposition of silicon carbon nitride thin films by microwave ECR plasma enhanced unbalance magnetron sputtering 期刊论文 5th Asian/European International Conference on Plasma Surface Engineering, 2007, 卷号: 201, 页码: 5298-5301 作者:   收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 silicon carbon nitride  ECR  magnetron sputtering   Structure and tribology property of carbon nitride films deposited by MW-ECR plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2006, 卷号: 8, 页码: 425-428 作者:   收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/27 carbon nitride  tribological property  unbalanced magnetron sputtering   Development of NiCr/NiSi thin-film thermocouple sensor for workpiece temperature measurement in chemical explosive material machining 期刊论文 JOURNAL OF MANUFACTURING SCIENCE AND ENGINEERING-TRANSACTIONS OF THE ASME, 2006, 卷号: 128, 页码: 175-179 作者:   收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/27 Chemical Structure of Carbon Nitride Films Prepared by MW-ECR Plasma Enhanced Magnetron Sputtering 期刊论文 材料热处理学报, 2004, 卷号: 25, 页码: 818-820 作者:   收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2020/01/02 Carbon nitride  Deposition  Electron cyclotron resonance  Magnetron sputtering  Microstructure  Microwaves  Plasmas, Chemical structure  Deposition rate  Plasma enhanced magnetron sputtering  Sputter cleaned surface, Amorphous films   Plasma source ion implantation （PSII） and PSII enhanced film deposition 期刊论文 Chinese Physics Letters, 1993, 卷号: 10, 页码: 355 作者:   收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/01/06 离子注入  等离子体源  薄膜  淀积