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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Nanogrinding induced surface and deformation mechanism of single crystal beta-Ga2O3 期刊论文 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2018, 卷号: 79, 页码: 165-170 作者:  Gao, Shang;  Wu, Yueqin;  Kang, Renke;  Huang, Han 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02 beta-Ga2O3  Nanogrinding  Transmission electron microscopy (TEM)  Defects  Nanoidentation   Phase transformation of single crystal silicon induced by grinding with ultrafine diamond grits 期刊论文 SCRIPTA MATERIALIA, 2011, 卷号: 64, 页码: 177-180 作者:  Zhang, Zhenyu;  Wu, Yueqin;  Guo, Dongming;  Huang, Han 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/18 Transmission electron microscopy (TEM)  Semiconductors  Nanocrystalline microstructure  Plastic deformation  Phase transformations   Grinding of silicon wafers using an ultrafine diamond wheel of a hybrid bond material 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS & MANUFACTURE, 2011, 卷号: 51, 页码: 18-24 作者:  Zhang, Zhenyu;  Huo, Fengwei;  Wu, Yueqin;  Huang, Han 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/18 Silicon wafer  Surface finish  Subsurface damage  Grinding