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大连理工大学 [13]
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基于激波的MEMS微结构底座冲击激励方法研究
期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 卷号: 36, 页码: 1892-1900
作者:
佘东生
;
杨一柳
;
魏泽飞
;
王晓东
;
王立鼎
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提交时间:2019/12/09
MEMS动态特性测试
激波
底座激励
微悬臂梁
高温环境
T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究
期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 卷号: 36, 页码: 1470-1478
作者:
佘东生
;
杨一柳
;
李琨
;
王晓东
;
王立鼎
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
MEMS测试
T型微悬臂梁
高温环境
固有频率温度系数
底座激励
高温环境下 MEMS 微构件动态特性测试技术研究
期刊论文
测试技术学报, 2010, 卷号: 24, 页码: 78-83
作者:
李晓轲
;
王晓东
;
佘东生
;
张涛
;
王立鼎
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提交时间:2019/12/24
MEMS
动态特性测试
高温
放电激励
激光多普勒测振仪
高温环境下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术研究
期刊论文
仪器仪表学报, 2010, 卷号: 31, 页码: 2494-2499
作者:
佘东生
;
王晓东
;
张习文
;
王立鼎
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提交时间:2019/12/24
MEMS测试
动态特性的测试
高温环境
微悬臂梁
激励装置
低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统
期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 页码: 2178-2184
作者:
佘东生
;
王晓东
;
张习文
;
王立鼎
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
微机电系统
动态特性
低温
微悬臂梁
冲击激励
Temperature-Frequency Characteristics of Silicon Micro-cantilever and Measurement Techniques in High Temperature Environment
会议论文
6th International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, Hangzhou, PEOPLES R CHINA, 2010-08-08
作者:
She, Dongsheng
;
Wang, Xiaodong
;
Zhang, Xiwen
;
Wang, Liding
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提交时间:2019/12/24
MEMS micro-cantilever
dynamic characteristics measurement
high temperature environment
base excitation
electrical discharge
高温环境下MEMS 微构件动态特性
期刊论文
测试技术学报, 2010, 卷号: 24, 页码: 78-83
作者:
李晓轲
;
王晓东
;
佘东生
;
张涛
;
王立鼎
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
高温环境条件下微悬臂梁谐振频率温度特性及测试技术
期刊论文
仪器仪表学报, 2010, 卷号: 31, 页码: 2494-2499
作者:
佘东生
;
王晓东
;
张习文
;
王立鼎
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提交时间:2019/12/24
一种用于MEMS动态特性测试的底座激励装置
专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-07-08
作者:
佘东生
;
王晓东
;
张习文
;
李晓轲
;
王立鼎
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提交时间:2019/12/24
基于虚拟仪器的高载条件下MEMS动态测试系统
期刊论文
仪器仪表学报, 2009, 卷号: 30, 页码: 29-34
作者:
孙屹博
;
王晓东
;
佘东生
;
王涛
;
王立鼎
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提交时间:2019/12/24
MEMS
动态测试
高载
虚拟仪器
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