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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：成果    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用电子束曝光和化学机械抛光工艺制备纳电子存储器的方法 成果 鉴定: 无, 2008 宋志棠; 刘奇斌; 张楷亮; 封松林; 陈邦明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/04/12 硫系化合物相变材料化学机械抛光纳米抛光液及其应用 成果 鉴定: 无, 2008 张楷亮; 宋志棠; 刘卫丽; 刘波 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/04/12 硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用 成果 鉴定: 无, 2004 张楷亮; 宋志棠; 刘波; 刘卫丽; 封松林 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/04/12 纳米半导体薄膜材料加工测试平台(中科院) 成果 鉴定: 无, 2004 宋志棠; 封松林; 刘卫丽; 刘波; 林成鲁; 沈勤我; 林梓鑫; 张楷亮; 郭晓慧 收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2013/04/12 纳米半导体薄膜材料加工测试平台 成果 鉴定: 无, 2004 宋志棠; 封松林; 刘卫丽; 刘波; 林成鲁; 沈勤我; 林梓鑫; 张楷亮; 郭晓慧 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2013/04/12