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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Novel multicontact radio frequency microelectromechanical system switch in high-power-handling applications 其他 2011-01-01 Liu, Bo; Lv, Zhiqiu; He, Xunjun; Hao, Yilong; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2017/12/03 A laterally thermally-actuated RF MEMS capacitive switch with parylene as dielectric layer 其他 2011-01-01 He, Xunjun; Lv, Zhiqiu; Liu, Bo; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Lateral Actuation  Parylene  Capacitive  Shadow mask  RF MEMS Switch   A Laterally Driven Capacitive RF MEMS Switch Using Parylene as Dielectric Layer 其他 2010-01-01 He, Xunjun; Lv, Zhiqiu; Liu, Bo; Li, Zhihong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 CONTACT   A surface micromachining process utilizing dual metal sacrificial layer for fabrication of RF MEMS switch 其他 2010-01-01 Liu, Bo; Lv, Zhiqiu; Li, Zhihong; He, Xunjun; Hao, Yilong 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13