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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Experimental Investigation of Microstructure and Piezoresistive Properties of Phosphorus-doped Hydrogenated Nanocrystalline Silicon Thin Films Prepared by PECVD 会议论文 MICRO-NANO TECHNOLOGY XV, 2013-11-03 作者:  Pan, Haibin[1];  Ding, Jianning[2];  Cheng, Guanggui[3];  Cao, Baoguo[4] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/24 Hydrogenated nanocrystalline silicon thin films  PECVD  piezoresistive properties  microstructure  gauge factor  temperature coefficient of resistance   Design and Evaluation of a High-accuracy Measurement System for Sheet Resistance of Thin Films 会议论文 MICRO-NANO TECHNOLOGY XV, 2013-11-03 作者:  Pan, Haibin[1];  Ding, Jianning[2];  Cao, Baoguo[3];  Cheng, Guanggui[4] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/24 Thin films  Sheet resistance  Resistivity  Dual-measurement with four-point probe  Van der Pauw correction factor