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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Monte Carlo simulation of low-energy electron scattering and energy dissipation distribution 会议论文 6th International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology, ICSICT 2001, 22 October 2001 through 25 October 2001 作者:  Ren, Liming;  Chen, Baoqin;  Tan, Zhenyu 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/31 Electron Beam Lithography  energy dissipation distribution  Monte Carlo method  scattering