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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：Science & Technology - Other Topics    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD 期刊论文 CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867 Xue, ZY; Chen, D; Liu, LJ; Jiang, HT; Bian, JT; Wei, X; Di, ZF; Zhang, M; Wang, X 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2013/04/17 SiGe  epitaxial growth  growth rate  Ge content   Fabrication of high quality strained SiGe on Si substrate by RPCVD 期刊论文 CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 15, 页码: 1862-1867 Xue, ZY; Chen, D; Liu, LJ; Jiang, HT; Bian, JT; Wei, X; di, zf(重点实验室）; Zhang, M（重点实验室）; Wang, X（重点实验室） 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2013/05/10 Multidisciplinary Sciences   Investigation of silicon on insulator fabricated by two-step O+ implantation 期刊论文 CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2011, 卷号: 56, 页码: 444-448 Wei, X; Xue, ZY; Wu, AM（重点实验室）; Wang, X（重点实验室）; Li, XY; Ye, F; Chen, J; Chen, M; Zhang, B（重点实验室）; Lin, CL（重点实验室）; Zhang, MA; Wang, X（重点实验室） 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2013/05/10 Multidisciplinary Sciences