×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2004 [1]
2001 [1]
2000 [3]
学科主题
Materials ... [5]
Applied; P... [2]
Coatings &... [2]
Condensed ... [2]
Multidisci... [2]
Multidisci... [2]
更多...
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共5条,第1-5条
帮助
限定条件
学科主题:Materials Science
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Simulation and characterization on properties of AlN films for SOI application
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2004, 卷号: 459, 期号: 1-2, 页码: 41-47
Song,ZR
;
Yu,YH
;
Zou,SC
;
Zheng,ZH
;
Shen,DS
;
Luo,EZ
;
Xie,Z
;
Sundaravel,B
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
DEPOSITION
MOSFETS
SILICON
GROWTH
Structural and optical properties of SiC films deposited on Si by DG magnetron sputtering
期刊论文
SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS, ECSCRM2000, 2001, 卷号: 353-356, 期号: 0, 页码: 191-194
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Lin,L
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Zou,SC
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2012/03/24
ALLOYS
Compositional and structural studies of DC magnetron sputtered SiC films on Si(111)
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2000, 卷号: 365, 期号: 1, 页码: 53-57
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Chen,DH
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2012/03/24
THIN-FILMS
GROWTH
DEVICES
AlN thin films prepared by reactive ion beam coating
期刊论文
FUNDAMENTAL MECHANISMS OF LOW-ENERGY-BEAM-MODIFIED SURFACE GROWTH AND PROCESSING, 2000, 卷号: 585, 期号: 0, 页码: 251-256
Cheng,LL
;
Yu,YH
;
Sundaravel,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Lei,YM
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:55/0
  |  
提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
DEPOSITION
GROWTH
IR studies of reactive DC magnetron sputtered SiC films on silicon using effective medium theory
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2000, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 215-219
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Wong,SP
;
Chen,DH
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:58/0
  |  
提交时间:2012/03/24
CARBON
GROWTH
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace