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离子束辅助磁控溅射沉积CrNx薄膜结构以及力学性能研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2013, 期号: 12, 页码: 1—5
汪爱英; 张栋 孙丽丽王振玉柯培玲汪爱英
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