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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2000 [1]
1991 [1]
学科主题
半导体器件 [2]
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学科主题:半导体器件
专题:半导体研究所
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Modeling and optimization of semiconductor manufacturing process with neural networks
期刊论文
chinese journal of electronics, 2000, 卷号: 9, 期号: 1, 页码: 1-5
Wang SJ
;
Chen YM
;
Wang XD
;
Li ZZ
;
Shi LC
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提交时间:2010/08/12
feedforward neural networks
optimization
radial basis function
semiconductor manufacturing
CONSTRUCTION AND APPLICATIONS OF A DUAL MASS-SELECTED LOW-ENERGY ION-BEAM SYSTEM
期刊论文
review of scientific instruments, 1991, 卷号: 62, 期号: 10, 页码: 2322-2325
QIN FG
;
WANG XM
;
LIU ZK
;
YAO ZY
;
REN ZZ
;
LIN LY
;
SU SJ
;
JIANG WS
;
LAU WM
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2010/11/15
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