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基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文
中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179
作者:  李逵;  孟润宇;  李睿晅;  张光银;  姚铭杰
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