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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 One-Step Synthesis of Silicon Oxynitride Films Using a Steady-State and High-Flux Helicon-Wave Excited Nitrogen Plasma 期刊论文 PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING, 2017, 卷号: 37, 页码: 1237-1247 作者:  Huang, Tianyuan;  Jin, Chenggang;  Yu, Jun;  Yang, Yan;  Zhuge, Lanjian 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/11/26 XPS  Mixture compositions  Silicon oxynitride (SiON) films  Ion energy distributions  Nitrogen helicon plasma