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用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法 期刊论文
强激光与粒子束, 2016, 卷号: 28, 期号: 8, 页码: 084002-1-084002-5
作者:  许佳;  徐家云;  马小军;  宋佳玲;  黎刚
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