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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2014    学科主题：物理化学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 低温等离子体辅助脉冲直流磁控溅射制备TiN薄膜 期刊论文 真空科学与技术学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 1192 作者:  吕起鹏;  李刚;  公发全;  王锋;  卢俊 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/11/16 欠氧化气氛下等离子体辅助脉冲直流磁控溅射高纯度Al2O3薄膜 期刊论文 真空科学与技术学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 261 作者:  李刚;  吕起鹏;  公发权;  王锋;  孙龙 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/11/16