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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 发表日期：2013     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators 其他 2013-01-01 Zhao, Danqi; Zhang, Xia; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Liu, Peng; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/10 CMOS-MEMS  Monolithic integration  Stress  Hydrogen  Resonator sensor  POLY-SIGE  CMOS  DEVICES  EMBRITTLEMENT  TEMPERATURE  FABRICATION  FRACTURE  HYDRIDE  WAFERS   Effect of Phosphorus Doping on the Performance of Au/Si Inter-diffusion 其他 2013-01-01 Huang, Xian; Yang, Fang; Zhao, Danqi; He, Jun; Fan, Xuejiao; Wang, Wei; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/16 phosphorus doping  Au/Si inter-diffusion  eutectic reaction  craters  HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON  FILMS  GOLD  SOLUBILITY   Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators 期刊论文 Sensors and Actuators, A: Physical, 2013 Zhao, Danqi; Zhang, Xia; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Liu, Peng; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03 Fabrication of monolithic integrated MEMS resonator with wet-release-monitoring array 其他 2013-01-01 Zhao, Danqi; He, Jun; Huang, Xian; Zhang, Li; Yang, Fang; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 Device for the measurement of anchor torsional strength in MEMS devices 其他 2013-01-01 He, Jun; Zhao, Danqi; Huang, Xian; Lin, Chen; Yang, Fang; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 A novel design of super-capcitor based on black silicon with atomic layer deposition 其他 2013-01-01 Zhang, Li; Zhao, Danqi; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Anchor design for microdevice fabricated by silicon-on-glass process based on bonding strength consideration 其他 2013-01-01 He, Jun; Yang, Fang; Zhao, Danqi; Huang, Xian; Wang, Wei; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13