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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2013     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 PECVD非晶硅薄膜沉积三维热流场数值模拟 期刊论文 太阳能学报, 2013, 卷号: 34, 页码: 1021-1027 作者:  李桂琴[1];  陆利新[2];  金国军[3];  王成刚[4] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/04/30 非晶硅薄膜  数字模拟  沉积速率