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一种电弧离子镀铁磁性复合结构靶材及其应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2013-04-03, 公开日期: 2013-04-03
孙超, 常正凯, 肖金泉, 宫骏, 华伟刚 and 陈育秋
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