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科研机构
河南大学 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2012 [1]
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发表日期:2012
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在立方MgO衬底上外延生长高质量的六方AlN薄膜
会议论文
第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议论文集中国电子学会, 2012-11-07
作者:
Xiuwen Chen[1]
;
陈秀文[2]
;
Caihong Jia[3]
;
贾彩虹[4]
;
Hongtao Wang[5]
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提交时间:2019/12/23
氮化铝薄膜 激光分子束 外延生长 立方氧化镁衬底 晶体质量
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