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低压环境中外加氩气流对激光沉积纳米硅晶粒尺寸及分布的影响 期刊论文
人工晶体学报, 2012, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 1211-1215
作者:  王英龙[1];  高建聪[2];  褚立志[3];  邓泽超[4];  丁学成[5]
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