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Spectroscopic ellipsometry and positron annihilation investigation of sputtered HfO2 films 期刊论文
THIN SOLID FILMS, 2011, 卷号: 519, 期号: 19, 页码: 6349-6353
作者:  Ma, ZW;  Liu, LX;  Xie, YZ;  Su, YR;  Zhao, HT
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