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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2010     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of substrate temperature on growth of a-Si:H films by reactive facing target sputtering deposition 期刊论文 SCIENCE CHINA-PHYSICS MECHANICS & ASTRONOMY, 2010, 卷号: 53, 期号: 5, 页码: 807-811 作者:  Yu Wei[1];  Meng LingHai[2];  Yuan Jing[3];  Lu HaiJiang[4];  Wu ShuJie[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/21 hydrogenated amorphous silicon  facing target sputtering  structural inhomogeneities  microvoids