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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2010     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 样品温度对CF与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟 期刊论文 物理学报, 2010, 卷号: 第10期, 页码: 7225-7231 作者:  宁建平;  吕晓丹;  赵成利;  秦尤敏;  贺平逆 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/28 分子动力学  等离子体  刻蚀  样品温度   样品温度对CF3＋与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟 期刊论文 2010, 期号: 10, 页码: 7225-7231 作者:  宁建平;  吕晓丹;  赵成利;  秦尤敏;  贺平逆 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/31 分子动力学  等离子体  刻蚀  样品温度   分子动力学模拟样品温度对F刻蚀SiC的影响 期刊论文 2010, 卷号: 30, 期号: 2, 页码: 111-115 作者:  宁建平;  秦尤敏;  吕晓丹;  A．Bogaerts;  苟富君 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/28 分子动力学  刻蚀  样品温度  SiC   Ar＋与氟化的Si样品相互作用机制的研究：分子动力学模拟 期刊论文 2010, 卷号: 30, 期号: 3, 页码: 229-235 作者:  秦尤敏;  吕晓丹;  宁建平;  A．Bogaerts;  苟富君 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/28 分子动力学  作用机制  刻蚀  表面富F样品表  面富C样品