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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2008    专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Simulation to Predict Target Erosion of Planar DC Magnetron 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2008, 卷号: 10, 期号: 5, 页码: 581-587 作者:  Qiu Qingquan;  Li Qingfu;  Su Jingjing;  Jiao Yu;  Finley Jim 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 magnetron sputtering  discharge  erosion  plasma  particle simulation   Magnetic Field Improvement in End Region of Rectangular Planar DC Magnetron Based on Particle Simulation 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2008, 卷号: 10, 期号: 6, 页码: 694-700 作者:  Qiu Qingquan;  Li Qingfu;  Su Jingjing;  Jiao Yu;  Finley, Jim 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 magnetron sputtering  magnetic field  erosion  plasma  particle simulation   Simulation of coating by magnetron sputtering of rectangular planar targets 期刊论文 Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology, 2008, 卷号: 28, 期号: 3, 页码: 218-224 作者:  Qiu, Qingquan;  Li, Qingfu;  Su, Jingjing;  Jiao, Yu;  Jim, Finely 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 Gas pressure  Maxwell velocity  Rectangular planar targets  Target substrate separation  Thompson energy distribution   Simulation to improve the magnetic field in the straight section of the rectangular planar DC magnetron 期刊论文 VACUUM, 2008, 卷号: 82, 期号: 6, 页码: 657-663 作者:  Qiu, Qingquan;  Li, Qingfu;  Su, Jingjing;  Jiao, Yu;  Finely, Jim 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 magnetron sputtering  magnetic field  erosion  particle simulation   Influence of operating parameters on target erosion of rectangular planar DC magnetron 期刊论文 IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE, 2008, 卷号: 36, 期号: 4, 页码: 1899-1906 作者:  Qiu, Qingquan;  Li, Qingfu;  Su, Jingjing;  Jiao, Yu;  Finley, Jim 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 magnetron sputtering  particle simulation  erosion  plasma