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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2007    学科主题：光学薄膜     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influences of annealing on residual stress and structure of HfO2 films 期刊论文 chin. phys. lett., 2007, 卷号: 24, 期号: 10, 页码: 2963, 2966 Shen Yan-Ming; 邵淑英; Deng Zhen-Xia; 贺洪波; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：777/126  |  提交时间：2009/09/22 THIN-FILMS  BEAM EVAPORATION  COATINGS  DEPOSITION  THICKNESS   Influences of oxygen partial pressure on structure and related properties of ZrO2 thin films prepared by electron beam evaporation deposition 期刊论文 appl. surf. sci., 2007, 卷号: 254, 期号: 2, 页码: 552, 556 Shen Yanming; 邵淑英; Yu Hua; 范正修; 贺洪波; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：969/249  |  提交时间：2009/09/22 ZrO2  thin films  electron beam evaporation  residual stress  oxygen partial pressure   薄膜厚度对HfO2薄膜残余应力的影响 期刊论文 稀有金属材料与工程, 2007, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 412, 415 申雁鸣; 贺洪波; 邵淑英; 范正修; 邵建达 收藏  |  浏览/下载：1100/176  |  提交时间：2009/09/22 HfO2薄膜  HfO2 thin film  残余应力  residual stress  膜厚  thin film thickness  电子束蒸发  electron beam evaporation