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| Thermal stability and energy-band alignment of nitrogen-incorporated ZrO2 films on Si(100) 期刊论文
applied physics letters, 2006, 期号: 88
L. Q. Zhu; L. D. Zhang; G. H. Li; G. He
  收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2010/08/16 |
| Silicate layer formation at HfO2/SiO2/Si interface determined by x-ray photoelectron spectroscopy and infrared spectroscopy 期刊论文
journal of applied physics, 2006, 期号: 100
G. He; L. D. Zhang; Q. Fang
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2010/07/23 |
| Microstructure and interfacial properties of HfO2–Al2O3 nanolaminate films 期刊论文
Applied Surface Science, 2006, 期号: 252
M. Liu; G. He; L.Q. Zhu; Q. Fang; G.H. Li; L.D. Zhang
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2010/07/21 |
| Spectroscopic ellipsometry characterization of ZrO2 thin films by nitrogen-assisted reactive magnetron sputtering 期刊论文
materials science in semiconductor processing, 2006, 期号: 9
L.Q. Zhu; Q. Fang; G. He; M. Liu; X.X. Xu; L.D. Zhang
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2010/07/23 |
| Effect of post deposition annealing on the optical properties of HfOxNy films 期刊论文
applied physics letters, 2006, 期号: 88
M. Liu; Q. Fang; G. He; L. Li; L. Q. Zhu; G. H. Li; L. D. Zhang
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| Characterization of HfOxNy gate dielectrics using a hafnium oxide as target 期刊论文
applied surface science, 2006, 期号: 252
M. Liu; Q. Fang; G. He; L.Q. Zhu; L.D. Zhang
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2010/07/20 |
