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LPCVD Growth of 3C-SiC on Si Mesas and SiO2/Si Substrates for MEMS Applications 期刊论文
人工晶体学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 982-985
作者:  LIU Xingfang
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2010/11/23
Homoepitaxial Growth of 4H-SiC and Ti/4H-SiC SBDs 期刊论文
人工晶体学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 1006-1010
作者:  NING Jin;  LIU Xingfang
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2010/11/23


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