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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2004    专题：暨南大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 VHF-PECVD法高速率沉积氢化微晶硅薄膜 期刊论文 2004, 卷号: 25, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 127 作者:  杨恢东 [1];  吴春亚 [2];  黄君凯 [3];  麦耀华 [2];  张晓丹 [2] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/03 光发射谱  氢化微晶硅薄膜  甚高频等离子体化学气相沉积  高速沉积