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科研机构
金属研究所 [1]
微电子研究所 [1]
内容类型
成果 [2]
发表日期
2004 [2]
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共2条,第1-2条
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发表日期:2004
内容类型:成果
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正压低温微波等离子体裂解天然气联产乙炔乙烯新技术研究开发
成果
2004
张劲松
;
杨永进
;
徐兴祥
;
孙家言
;
刘强
;
曹小明
;
张军
;
沈学逊
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2013/07/24
微波等离子体
天然气
乙炔
先进的深亚微米工艺技术及新型器件
成果
2004
主要完成人:
赵知夷
;
叶甜春
;
刘训春
;
吴德馨
;
李兵
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2018/09/07
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