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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2001    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A novel electrostatically driven bulk-micromachined on-off optical switch 其他 2001-01-01 Cong-Shun Wang; Jing Fang; Sheng Chang; Zhen-Chuan Yang; Da-Cheng Zhang 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2017/12/03 switch  anchor  actuator  wafer  fabrication  pull  bonding  driving  electrostatic  optimize  switch  anchor  actuator  wafer  fabrication  pull  bonding  driving  electrostatic  optimize