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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：合肥物质科学研究院    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Use of model-based library in critical dimension measurement by CD-SEM 期刊论文 MEASUREMENT, 2018, 卷号: 123, 期号: 无, 页码: 150-162 作者:  Zou, Y. B.;  Khan, M. S. S.;  Li, H. M.;  Li, Y. G.;  Li, W. 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/08/26 Model-based library  Critical dimension  Secondary electron  CD-SEM  Monte Carlo simulation