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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
内容类型
学位论文 [3]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
学科主题
光学工程 [2]
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用于激光损伤在线缺陷检测的远距离高分辨率系统设计
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
翟婷婷
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2016/11/28
在线检测
大口径元件
远距离高分辨率
暗场成像
光学设计
连续变焦系统的一阶结构设计方法研究
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 722002
作者:
翟婷婷
;
朱健强
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/28
光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究
学位论文
作者:
马健
收藏
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浏览/下载:1367/0
  |  
提交时间:2018/12/26
光刻机
lithography machine
光瞳整形
pupil shaping
变焦系统
zoom system
轴锥镜组
axicon group
光学设计
optical design
直接驱动下光束焦斑控制技术
学位论文
作者:
朱应成
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2018/12/26
G-S算法
G-S algorithm
连续相位板
continuous phase plate
光束匀滑
beam smoothing
动态控制
dynamic control
变焦相位板
zoom phase plate
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