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用于激光损伤在线缺陷检测的远距离高分辨率系统设计 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  翟婷婷
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2016/11/28
连续变焦系统的一阶结构设计方法研究 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 722002
作者:  翟婷婷;  朱健强
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2016/11/28
光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究 学位论文
作者:  马健
收藏  |  浏览/下载:1367/0  |  提交时间:2018/12/26
直接驱动下光束焦斑控制技术 学位论文
作者:  朱应成
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2018/12/26


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