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相对论飞秒强激光驱动的新型高亮度阿秒脉冲光源 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  马光金
收藏  |  浏览/下载：129/0  |  提交时间：2016/11/28
基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  杨朝兴
收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2016/11/28
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Chen, Ming;  Huang, Huijie;  Yang, Baoxi;  Zhu, Jing;  Zeng, Aijun
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/12/25
Method of pupil shaping for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
J. Opt. Technol., 2016, 卷号: 83, 期号: 3, 页码: 154
作者:  Huang, Huijie;  Chen, Ming;  Zhang, Fang;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25
薄膜型空间滤波器的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  章瑛
收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/11/28
基于散射模型的光学相干层析成像技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  郭昕
收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2016/11/28
An approach to increase efficiency of DOE based pupil shaping technique for off-axis illumination in optical lithography 期刊论文
opt. express, 2015, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 4482
作者:  Zhang, Fang;  Zhu, Jing;  Yue, Weirui;  Wang, Jian;  Song, Qiang
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2016/11/28
Fabrication error analysis for diffractive optical elements used in a lithography illumination system 期刊论文
opt. eng., 2015, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 45102
作者:  Wang, Jian;  Zhang, Fang;  Song, Qiang;  Zeng, Aijun;  Zhu, Jing
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/28
一种频域光学相干层析成像深度分辨率增强技术 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 311002
作者:  郭昕;  王向朝;  南楠;  李中梁
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/11/28
Digital coherent detection research on Brillouin optical time domain reflectometry with simplex pulse codes 期刊论文
chin. phys. b, 2014, 卷号: 23, 期号: 11, 页码: 110703
作者:  Hao Yun-Qi;  Ye Qing;  Pan Zheng-Qing;  Cai Hai-Wen;  Qu Rong-Hui
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/28

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