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基于相干调制成像的高功率激光光束波前测量方法研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  陶华
收藏  |  浏览/下载:211/0  |  提交时间:2016/11/28
光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  李杰
收藏  |  浏览/下载:209/0  |  提交时间:2016/11/28
相干衍射成像在激光驱动器中的应用研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  潘兴臣
收藏  |  浏览/下载:78/0  |  提交时间:2016/11/28
高速光锁频锁相系统 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  张震
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/11/28
高精度非干涉相位检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:  王海燕
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2016/11/28
基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 422002
作者:  王磊;  李思坤;  王向朝;  闫观勇;  杨朝兴
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/11/28
基于达曼光栅的并行激光直写光刻机研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  朱锋
收藏  |  浏览/下载:139/0  |  提交时间:2016/11/28
高NA光刻机光瞳整形系统关键技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:  宋强
收藏  |  浏览/下载:221/0  |  提交时间:2016/11/28
基于二次规划的光刻机光源优化方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 257
作者:  闫观勇;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2016/11/25
基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者:  李兆泽;  李思坤;  王向朝
收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2016/11/25


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