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上海光学精密机械研... [71]
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专题：上海光学精密机械研究所
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基于相干调制成像的高功率激光光束波前测量方法研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
陶华
收藏
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浏览/下载：211/0
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提交时间：2016/11/28
高功率激光
波前测量
相位恢复
相干调制成像
广义斐波那契光子筛的三维阵列聚焦特性研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
柯杰
收藏
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浏览/下载：116/0
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提交时间：2016/11/28
广义斐波那契
光子筛
衍射成像
三维阵列焦点
双涡旋
基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
苏雅茹
收藏
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浏览/下载：36/0
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提交时间：2016/11/28
离轴抛物面反射镜
温度特性
脉冲压缩光栅
波像差
光栅剪切干涉波前测量技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
李杰
收藏
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浏览/下载：211/0
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提交时间：2016/11/28
波前测量
横向剪切干涉
波前重建
光栅元件
系统误差
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
收藏
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浏览/下载：146/0
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提交时间：2016/11/28
光刻机
矢量成像模型
偏振像差
泡利-泽尼克系数
偏振像差检测
基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统理论分析与模拟
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
苏雅茹
收藏
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浏览/下载：225/0
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提交时间：2016/11/28
离轴抛物面反射镜
温度特性
脉冲压缩光栅
波像差
用于激光损伤在线缺陷检测的远距离高分辨率系统设计
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
翟婷婷
收藏
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浏览/下载：36/0
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提交时间：2016/11/28
在线检测
大口径元件
远距离高分辨率
暗场成像
光学设计
基于大口径离轴抛物面反射镜光学系统的理论分析与模拟
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
苏雅茹
收藏
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浏览/下载：57/0
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提交时间：2016/11/28
离轴抛物面反射镜
温度特性
脉冲压缩光栅
波像差
相干衍射成像在激光驱动器中的应用研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
潘兴臣
收藏
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浏览/下载：78/0
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提交时间：2016/11/28
相干衍射成像
相位恢复
迭代算法
相位测量
采用空间像降维的光刻投影物镜偏振像差原位检测方法
会议论文
作者:
孟泽江
;
李思坤
;
王向朝
收藏
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浏览/下载：18/0
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提交时间：2017/12/25
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