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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of rapid thermal annealing and hydrogen plasma treatment on the microstructure and light-emission of silicon-rich oxide film 期刊论文 acta physica sinica, 2002, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 1564-1570 Wang YQ; Chen WD; Chen CY; Diao HW; Zhang SB; Xu YY; Kong GL; Liao XB 收藏  |  浏览/下载：45/0  |  提交时间：2010/08/12 silicon-rich silicon oxide  microstructure  light-emission  rapid thermal annealing  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  AMORPHOUS-SILICON  POROUS SILICON  SI  LUMINESCENCE  NANOCRYSTALS  SPECTRA  SYSTEM