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| 新型高性能RF-MEMS谐振器研究 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2021
作者: 陈泽基
  收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2021/06/17 |
| 新型高Q值硅基RF-MEMS谐振器 学位论文
中国科学院半导体研究所: 中国科学院大学, 2020
作者: 王天昀
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/09/22 |
| 射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者: 王凤翔
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2018/05/24
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| 氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017
侯云虹
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2017/06/01 |
| 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
赵继聪
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2017/05/31
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| 便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
王晶晶
收藏 | 浏览/下载：47/0 | 提交时间：2016/06/03
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| 氮化铝MEMS谐振器关键技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
杨健
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2015/06/02
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| 用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2014
赵晖
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2014/06/03
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| 电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
康中波
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2012/07/09 |
| 基于圆盘谐振器的RF MEMS 振荡器振荡电路研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
郑海洋
收藏 | 浏览/下载：70/0 | 提交时间：2012/06/27 |
