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华南理工大学 [4]
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期刊论文 [3]
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2015 [1]
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2013 [1]
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基于卷对卷矩形靶的溅射膜厚均匀性控制 (EI收录)
期刊论文
《华南理工大学学报:自然科学版》, 2015, 卷号: 0, 页码: 81-86
作者:
黄云翔[1] 温万昱[1]
;
孙佳伟[1]
;
槐创锋[1] 曾海峰[2] 钟福回[2]
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提交时间:2019/04/25
矩形靶
卷对卷
真空磁控溅射
膜厚均匀性
仿真
无镉的铜铟镓硒太阳电池关键膜层XPS及AFM分析
期刊论文
《电子显微学报》, 2014, 卷号: 33, 页码: 215-221
作者:
廖荣[1,2]
;
张海燕[1] 王道然[2]
;
杨铁铮[2]
;
范宇[2]
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/04/25
原子层沉积
氧化锌
XPS
AFM 无镉的铜铟镓硒太阳能电池
前驱膜叠层及硒化升温方式对铜铟镓硒薄膜性能的影响 (EI收录)
期刊论文
《真空科学与技术学报》, 2013, 页码: 496-500
作者:
廖荣[1,2]
;
张海燕[1]
;
蒋伟[2]
;
黄茵[2]
;
梁志鹏[2]
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/04/25
磁控溅射 铜铟镓前驱膜
硒化
CIGS薄膜
太阳能电池
镓元素均匀分布的铜铟镓硒薄膜吸收层制备装置
专利
作者:
张晓清
;
汤勇
;
黄云翔
;
陆龙生
;
袁伟
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提交时间:2019/04/10
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