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一种基于拉链梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 专利
申请日期: 2019-05-17, 公开日期: 2019-05-17
作者:  刘兆军;  李文睿;  秦增光;  关晨;  丛振华
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2020/01/04
一种基于突出梳齿的MEMS驱动器及其工作方法 专利
申请日期: 2019-04-05, 公开日期: 2019-04-05
作者:  刘兆军;  李文睿;  秦增光;  关晨;  丛振华
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2020/01/04


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