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科研机构
上海微系统与信息技... [10]
内容类型
期刊论文 [10]
发表日期
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Phase stability and electronic structure of Si2Sb2Te5 phase-change material
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS AND CHEMISTRY OF SOLIDS, 2010, 卷号: 71, 期号: 8, 页码: 1165-1167
Sa, BS
;
Miao, NHH
;
Zhou, JA
;
Song, ZT
;
Sun, ZM
;
Ahuja, R
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
GE-SB-TE
DATA-STORAGE
The effect of annealing and chemical mechanical polishing on Ge2Sb2Te5 phase change memory
期刊论文
SCRIPTA MATERIALIA, 2009, 卷号: 60, 期号: 11, 页码: 957-959
Zhong, M
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Chen, YF
;
Gong, YF
;
Rao, F
;
Feng, SL
;
Zhang, FX
;
Xiang, YH
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
DATA-STORAGE
FILMS
CELL
Comparison of the crystallization of Ge-Sb-Te and Si-Sb-Te in a constant-temperature annealing process
期刊论文
SCRIPTA MATERIALIA, 2008, 卷号: 58, 期号: 11, 页码: 977-980
Zhang, T
;
Cheng, Y
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
;
Han, XD
;
Zhang, Z
;
Chen, B
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/03/24
TRANSMISSION ELECTRON-MICROSCOPY
RANDOM-ACCESS MEMORY
PHASE-CHANGE
GE2SB2TE5 FILMS
DATA-STORAGE
THIN-FILMS
GROWTH
TRANSITION
SI2SB2TE5
A silicon integrated micro nano-positioning XY-stage for nano-manipulation
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: -125004
Sun, LN
;
Wang, JC
;
Rong, WB
;
Li, XX
;
Bao, HF
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
COMB-DRIVE ACTUATORS
PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER
DATA-STORAGE
Fabrication of arrays of line with nanoscale width and large length by electron beam lithography with high-precision stage
期刊论文
MICROELECTRONICS JOURNAL, 2008, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 1126-1129
Lv, SL
;
Song, ZT
;
Feng, SL
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/03/24
MAGNETIC NANOELEMENTS
DATA-STORAGE
A silicon integrated micro nano-positioning XY-stage for nano-manipulation
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2008, 卷号: 18, 期号: 12, 页码: -125004
Sun, LN
;
Wang, JC
;
Rong, WB
;
Li, XX
;
Bao, HF
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2011/12/17
COMB-DRIVE ACTUATORS
PIEZORESISTIVE ACCELEROMETER
DATA-STORAGE
Integrated SPM probes with NEMS technology
期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2007, 卷号: 133, 期号: 2, 页码: 383-387
Li, XX
;
Han, JQ
;
Bao, HF
;
Yang, ZX
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2011/12/17
DATA-STORAGE
SENSORS
TIPS
Micro cantilever probe array integrated with Piezoresistive sensor
期刊论文
MICROELECTRONICS JOURNAL, 2004, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 479-483
Yang, ZX
;
Li, XX
;
Wang, YL
;
Bao, HF
;
Liu, M
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2011/12/17
DATA-STORAGE
TIPS
Micro cantilever probe array integrated with Piezoresistive sensor
期刊论文
MICROELECTRONICS JOURNAL, 2004, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 479-483
Yang, ZX
;
Li, XX
;
Wang, YL
;
Bao, HF
;
Liu, M
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2011/12/20
DATA-STORAGE
TIPS
Micro cantilever probe array with integration of electro-thermal nano tip and piezoresistive sensor
期刊论文
PROCEEDINGS OF THE IEEE SENSORS 2003, VOLS 1 AND 2, 2003, 页码: 830-833
Yang, ZX
;
Li, XX
;
Wang, YL
;
Liu, M
;
Bao, HF
;
Cheng, BL
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/12/17
DATA-STORAGE
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