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科研机构
上海微系统与信息技术... [9]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2009 [1]
2008 [1]
2007 [2]
2006 [3]
2004 [2]
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专题：上海微系统与信息技术研究所
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Fabrication of Nanobeam using Focused Ion Beam (FIB) and KOH Etching
期刊论文
2009 4TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANO/MICRO ENGINEERED AND MOLECULAR SYSTEMS, VOLS 1 AND 2, 2009, 页码: 139-142
Cheng, HT
;
Yang, H
;
Wang, YL
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浏览/下载：16/0
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提交时间：2011/12/17
SILICON
RESONATORS
MICROSCOPY
SI
Resonance-mode effect on microcantilever mass-sensing performance in air
期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 卷号: 79, 期号: 7, 页码: 74301-74301
Xia, XY
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载：26/0
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提交时间：2011/12/17
DAMPING CHARACTERISTICS
CANTILEVERS
RESONATORS
OSCILLATORS
PRESSURE
VACUUM
Orientation fluctuation trend of Pt and ZnO layers in film bulk acoustic resonator
期刊论文
PHYSICA B-CONDENSED MATTER, 2007, 卷号: 400, 期号: 1-2, 页码: 38-41
Yan, Z
;
Yi, M
;
Song, ZT
;
Liu, WL
;
Ji, H
;
Feng, SL
收藏
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浏览/下载：16/0
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提交时间：2012/03/24
WAVE RESONATORS
THIN-FILMS
DEPOSITION
TECHNOLOGY
FILTERS
GROWTH
A bandpass filter with harmonic suppression using sir and zigzag coupling
期刊论文
MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2007, 卷号: 49, 期号: 9, 页码: 2071-2074
Guan, FH
;
Gu, JZ
;
Sun, XW
收藏
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浏览/下载：7/0
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提交时间：2011/12/17
RESONATORS
Fabrication of the isolated nano-beams in the normal (111) si wafers with KOH etching
期刊论文
2006 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, Vols 1-3, 2006, 页码: 1052-1054
Yang, H
;
Yang, YL
;
Li, T
;
Jiao, JW
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载：12/0
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提交时间：2011/12/17
RADIO FREQUENCIES
RESONATORS
A compact microstrip bandpass filter using folded parallel-coupled-lines
期刊论文
MICROWAVE AND OPTICAL TECHNOLOGY LETTERS, 2006, 卷号: 48, 期号: 11, 页码: 2328-2330
Gu, JZ
;
Sun, XW
收藏
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浏览/下载：11/0
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提交时间：2011/12/17
SUPPRESSION
RESONATORS
Nanofabrication based on MEMS technology
期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2006, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 686-690
Wang, YL
;
Li, XX
;
Li, T
;
Yang, H
;
Jiao, JW
收藏
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浏览/下载：8/0
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提交时间：2011/11/08
ON-INSULATOR SUBSTRATE
IMPRINT LITHOGRAPHY
ROOM-TEMPERATURE
SILICON
FABRICATION
SI
RESONATORS
RESOLUTION
OPERATION
FILMS
Nanofabrication based on MEMS
期刊论文
PROCEEDINGS OF THE IEEE SENSORS 2004, VOLS 1-3, 2004, 页码: 1044-1047
Wang, YL
;
Li, XX
;
Li, T
;
Yang, H
;
Jiao, JW
收藏
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浏览/下载：11/0
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提交时间：2011/11/08
FABRICATION
TECHNOLOGY
RESONATORS
FILMS
SI
Nanofabrication from MEMS technology
期刊论文
2004: 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUITS TECHNOLOGY, VOLS 1- 3, PROCEEDINGS, 2004, 页码: 1839-1841
Wang, YL
;
Li, XX
;
Li, T
;
Yang, H
;
Jiao, JW
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浏览/下载：10/0
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提交时间：2011/11/08
FABRICATION
RESONATORS
FILMS
SI
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