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科研机构
上海微系统与信息技术... [8]
内容类型
期刊论文 [8]
发表日期
2012 [1]
2006 [1]
2005 [1]
2004 [2]
2003 [3]
学科主题
Physics, A... [3]
Materials ... [2]
Physics, M... [2]
Science & ... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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发表日期升序
发表日期降序
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Interface dipole engineering in metal gate/high-k stacks
期刊论文
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2012, 卷号: 57, 期号: 22, 页码: 2872-2878
Huang, AP
;
Zheng, XH
;
Xiao, ZS
;
Wang, M
;
Di, ZF
;
Chu, PK
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2013/04/17
high-k dielectrics
metal gate
interface dipole
MOS stack
effective work function
Preparation of high-quality Hf-aluminate films by EB-PVD
期刊论文
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2006, 卷号: 35, 期号: 8, 页码: 1192-1194
Cheng, XH
;
Song, ZR
;
Yu, YH
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/03/24
ATOMIC-LAYER DEPOSITION
THERMAL-STABILITY
GATE DIELECTRICS
SI(100)
(HFO2)(X)(AL2O3)(1-X)
SI
Investigation of Ge nanocrytals in a metal-insulator-semiconductor structure with a HfO2/SiO2 stack as the tunnel dielectric
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2005, 卷号: 86, 期号: 11, 页码: 113105-113105
Wang, SY
;
Liu, WL
;
Wan, Q
;
Dai, JY
;
Lee, PF
;
Suhua, L
;
Shen, QW
;
Zhang, M
;
Song, ZT
;
Lin, CL
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
NANOCRYSTAL MEMORY DEVICE
GATE DIELECTRICS
CHARGE-STORAGE
SILICON NANOCRYSTALS
THERMAL-STABILITY
DEPOSITION
Studies on Al2O3/ZrO2/Al2O3 high K gate dielectrics applied in a fully depleted SOI MOSFET
期刊论文
METALS AND MATERIALS INTERNATIONAL, 2004, 卷号: 10, 期号: 5, 页码: 475-478
Lin, CL
;
Zhang, NL
;
Shen, QW
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE
THERMAL-STABILITY
CAPACITORS
FILM
ZRO2
HFO2
Applications of cubic MgZnO thin Films in metal-insulator-silicon structures
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1135-1138
Liang, J
;
Wu, HZ
;
Lao, YF
;
Qiu, DJ
;
Chen, NB
;
Xu, TN
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
GATE DIELECTRICS
TEMPERATURE
TRANSPORT
SI(111)
High frequency capacitance-voltage characterization of Al2O3/ZrO2/Al2O3 in fully depleted silicon-on-insulator metal-oxide-semiconductor capacitors
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 83, 期号: 25, 页码: 5238-5240
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Wu, YJ
;
Liu, QB
;
Lin, CL
;
Duo, XZ
;
Zheng, LR
;
Ding, YF
;
Zhu, ZQ
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
ZRO2/SIO2/SI LAYERED STRUCTURE
THERMAL-STABILITY
MOS CAPACITORS
FILM
ZRO2
DIELECTRICS
HFO2
Stress current calculation of stacked dielectrics in time dependent dielectric breakdown
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2003, 卷号: 94, 期号: 6, 页码: 4032-4035
Yang, WW
;
Cheng, XH
;
Xing, YM
;
Li, WJ
;
Yu, YH
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
TUNNELING CURRENTS
OXIDE THICKNESS
LEAKAGE CURRENT
MOS CAPACITORS
MODEL
INTERFACES
SIO2
Microstructural and electrical properties of ZrO2 thin films prepared on silicon on insulator with thin top silicon
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 273-276
Zhang, NL
;
Song, ZT
;
Shen, QW
;
Lin, CL
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/03/24
FIELD-EFFECT-TRANSISTORS
K GATE DIELECTRICS
THERMAL-STABILITY
RELIABILITY
SI
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