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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 自呼吸式硅微机械氢燃料电池的阳极流场优化 期刊论文 半导体技术, 2007, 期号: 09 郑丹; 倪卫其; 姜伟; 张熙贵; 张鲲; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/06 电容式加速度传感器  硅/硅键合  圆片级真空封装