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MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
张灵霖
收藏  |  浏览/下载:111/0  |  提交时间:2012/03/06
硅微机械压力开关、制作方法及其应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101226850, 申请日期: 2008-07-23, 公开日期: 2008-07-23
熊斌; 荆二荣; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/01/06
翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波机械开关及制作方法 成果
鉴定: 无, 2008
焦继伟; 刑向龙; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:46/0  |  提交时间:2013/04/12
MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2008
赵楷 
收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2012/03/06
一种微型扭转式单刀双置射频开关结构及制作方法 成果
鉴定: 无, 2007
焦继伟; 黄蓉; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2013/04/12
硅微机械加速度开关技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
贾孟军  
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/03/06
低功耗低噪声正交压控振荡器设计 期刊论文
微细加工技术, 2006, 期号: 04
袁徐亮; 程知群; 孙晓伟
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2012/01/06
翘曲膜结构的单刀双掷射频和微波微机械开关及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1588602, 申请日期: 2005-03-02, 公开日期: 2005-03-02
焦继伟; 邢向龙; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2012/01/06
硅KOH腐蚀<100>晶向凸角补偿技术及应用 期刊论文
传感器技术, 2005, 期号: 07
王浙辉; 李昕欣; 王跃林
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2012/01/06
射频微电子机械单刀双掷开关 成果
鉴定: 无, 2005
未知
收藏  |  浏览/下载:39/0  |  提交时间:2013/04/12


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