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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optimized fabrication of wafer-level Si waveguides based on 200mm CMOS platform 期刊论文 Optik, 2018 作者:  Li ZH(李志华);  Li B(李彬);  Tang B(唐波);  Zhang P(张鹏);  Yu JZ(余金中) 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2019/05/05 Design and fabrication of wafer-level packaged MEMS Pirani Gauge with sorrounded heat sinks 期刊论文 Transducers2017, 2017 作者:  Zhang LM(张乐民);  Yun SC(云世昌);  Chen DP(陈大鹏) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2018/07/09 Wafer-level Fabrication of Nanocone Forests by Plasma Repolymerization Technique for Surface-enhanced Raman Scattering Devices 期刊论文 Applied Surface Science, 2016 作者:  Mao HY(毛海央);  Wang WB(王玮冰) 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2017/05/08